Кітап
81

Технология электронной техники

Ұсынған: Сүлейменов Батырбек
[621.3+621.38](075.8)

Технология электронной техники [Text] : в 6 т. / З. Хотра Вуйцик В., Сулейменов Б.- Алматы : КазНТУ, 2013 .– 100 экз. . – 978-601-228-578-9, 978-601-228-584-0 Т. 5 . Технология фото-, электронно- и рентгенолитографии– 504 с., ил. .

Тақырыптық айдарлар
  1. Электротехника
  2. Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц
Аңдатпа

Описаны методы конструктивной и физико-химической обработки пленочных структур. Приводятся технологии фото-, электронно-, рентгенолитографии электронных, интегральных и наноструктур

Кілт сөздер
  • пленочные резисторы
  • конденсаторы
  • резисторы
  • пленочные конденсаторы
  • субмикронная литография
  • фотошаблоны
  • рентгеновская литография
  • интегральные микросхемы
  • электронная техника
${loading}