Кітап
79

Технология электронной техники

Ұсынған: Сүлейменов Батырбек
621.3(075.8)

Технология электронной техники [Text] : в 6 т. / З. Хотра Вуйцик В., Сулейменов Б.- Алматы : КазНТУ, 2013 .– 100 экз. . – 978-601-228-581-9, 978-601-228-578-9 Т. 3 . Процессы эпитаксии и ионной имплантации. Лазерная, плазменная и электронно-лучевая обработка материалов– 415 с., ил. .

Тақырыптық айдарлар
  1. Электротехника
Аңдатпа

Рассмотрены процессы эпитаксии, ионной имплантации, лазерной, плазменной и электронно-лучевой обработки. Описаны технологии получения тонких и толстых пленок

Кілт сөздер
  • эпитаксия
  • эпитаксиальные слои
  • молекулярно-лучевая эпитаксия
  • газофазная эпитаксия
  • сверхрешетки
  • ионная имплантация
  • лазерное излучение
  • плазменная технология травления
${loading}